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本電爐為周期作業(yè)式，廣泛應用于功能陶瓷，光學(xué)材料，碳復合材料，硬質(zhì)合金，粉末冶金等在高溫真空條件下進(jìn)行燒結處理，也可在充氣保護情況下成型燒結。
本電爐為周期作業(yè)式，廣泛應用于功能陶瓷，光學(xué)材料，碳復合材料，硬質(zhì)合金，粉末冶金等在高溫真空條件下進(jìn)行燒結處理，也可在充氣保護情況下成型燒結。
產(chǎn)品名稱(chēng)：2100℃ CVD系統
產(chǎn)品型號：SCK-480-2100
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
本電爐為周期作業(yè)式，廣泛應用于功能陶瓷，光學(xué)材料，碳復合材料，硬質(zhì)合金，粉末冶金等在高溫真空條件下進(jìn)行燒結處理，也可在充氣保護情況下成型燒結。
主要特點(diǎn)
1、結構組成
1.爐體 2.爐蓋 3.爐底 4.爐架 5.真空系統
6.溫控系統 7.氣路系統 8.變壓器及聯(lián)接電纜 9.水冷系統 10.發(fā)熱元件及隔熱屏
2、結構說(shuō)明
1、爐體：采用雙層水夾層結構，內層為不銹鋼（1Cr18N9Ti）拋光，外層為優(yōu)質(zhì)碳鋼，上、下法蘭組焊成筒型結構，法蘭平面開(kāi)設密封槽。采用“O”圈真空密封，并設水冷裝置（防止因溫度過(guò)高“O”圈老化）。開(kāi)設有抽氣、熱電偶、紅外孔等。
2、爐蓋：采用雙層夾層封頭結構，設有觀(guān)察孔，屏蔽、鎖緊、開(kāi)啟裝置，并通水冷卻。
3、爐底：同樣采用雙層水夾層封頭結構，設有電極引出裝置，支撐平臺等，并設有水冷裝置。
4、爐架：由型鋼及鋼板組焊成箱式結構，爐體安放在箱體上，美觀(guān)大方。
5、真空系統：由壹臺TK-200擴散泵配冷阱，壹臺VRD-60機械泵、手動(dòng)高真空擋板閥、真空壓力表（±Pa）、充氣閥、放氣閥和真空管路等組成。機械泵采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接（減緩震動(dòng)），真空度的測量采用數顯復合真空計。
6、溫控系統：采用可控制硅控溫，儀表為歐陸溫控表，具有P.I.D調節、超溫聲光報警功能，電器元件采用正泰品牌，電控屏箱按西門(mén)子標準制作，控溫精度高，操作方便。
7、氣路系統：在整個(gè)系統中設有1個(gè)進(jìn)氣口、1個(gè)放氣口，可充氣氛。
8、電氣控制：采用可控硅控溫，配有大電流變壓器、調壓器及溫度控制儀表組成溫度控制執行回路。電路設有斷水、過(guò)流、超溫報警及保護功能。
9、水冷系統：由各種管道閥等相關(guān)裝置組成，具有斷水聲光報警自動(dòng)切斷電源功能。
10、變壓器及聯(lián)接電纜：采用與之相匹配的變壓器及聯(lián)接電纜。
11、發(fā)熱元件及隔熱屏：發(fā)熱元件采用電極石墨加工成圓筒形的結構，隔熱屏采用石墨、碳氈、石墨氈（1層石墨筒，4層碳毪和4層石墨氈，每層厚10mm以上），保溫性能好、加熱均勻、輻射面大、耐熱沖擊性好，可快速加熱和冷卻。保溫層和發(fā)熱分體，易維護和取裝，保溫套外用不銹鋼框架支撐，固定。
技術(shù)參數
SCK 真 空 碳 管 爐 | 型號 | SCK-480-2100 | |
特 點(diǎn) | 該設備可用于做碳沉積之類(lèi)的CVD實(shí)驗，其具有以下優(yōu)點(diǎn) 1、溫度高，可達到2100℃ 2、安全，不會(huì )像管式爐出現斷管子的風(fēng)險 3、腔體大，比管式爐處理的樣品體積大 4、加裝防爆閥，可及時(shí)將腔體內多余氣體排出。 5、采用電容薄膜規測量真空度，測量結果更精準。 若用戶(hù)需要潔凈的環(huán)境，可選購我公司鎢絲爐或鉬絲爐，具體可咨詢(xún)我公司銷(xiāo)售 | ||
技術(shù)方案 |
1、一個(gè)石墨桶放在加熱區內，石墨桶內有兩個(gè)（也可定制其它數量）放物料的支架 2、氣體由下方進(jìn)氣口進(jìn)入石墨桶內，經(jīng)過(guò)物料架，在襯底材料表面經(jīng)過(guò)化學(xué)反應形成固體沉積物，多余的氣體經(jīng)上方排氣口排出。 | ||
最大功率 | 48KW | ||
電源 | 三相 380V 50/60Hz | ||
最高加熱溫度 | 2100℃ | ||
控溫模式 | 歐陸 3204 智能PID 5×16段程序控溫 | ||
加熱碳管尺寸(mm) | Dia200(內徑）×320 | ||
有效加熱尺寸(mm) | Dia160×160 | ||
腔體真空度（擴散泵機組） | < 5×10 -3Pa | ||
腔體充氣壓力 | < 0.05MPa | ||
升壓率 | <4Pa/小時(shí) | ||
斷偶保護和顯示 | 有 | ||
過(guò)溫保護 | 有 | ||
過(guò)流保護 | 有 | ||
欠壓保護（水壓） | 有 | ||
控制精度 | +/- 1℃ | ||
溫度檢測方式 | 鎢套管鎢錸熱電偶 | ||
最大升溫速率 | < 20度/min | ||
真空腔體內是否水冷 | 是 | ||
觀(guān)察窗尺寸 | Dia 90mm | ||
外形尺寸 | 1.85*1.6*2米 | ||
防爆系統 | 防爆系統由壓力變送器和防爆閥組成 壓力傳感器，可在壓力控制表上設置報警壓力，當爐管內壓力大于等于設定的報警壓力時(shí)，防爆系統會(huì )自動(dòng)啟動(dòng)，并放出爐管內多余的氣體。 防爆電磁閥由兩個(gè)方向相反的單向閥組成，無(wú)論是真空還是氣氛下都可以關(guān)的很好，不漏氣，不回流。 壓力變送器 防爆閥 | ||
冷水機（選配） | 8P | ||
真 空 機 組
| 機組輸入電壓 | 380V /220V | |
波紋管 | KF40×1000 | ||
真空擋板閥 | KF40 | ||
前級真空泵 VRD-60 | 功率 | 2.5KW | |
電壓 | 380V | ||
轉速 | 1450rpm | ||
進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | ||
前機泵抽氣速率（L/S） | 15 | ||
極限壓強 | 4×10 -2Pa | ||
擴散泵TK200 | 電壓 | 220V | |
功率 | 2000W | ||
進(jìn)氣接口 | DN200 | ||
出氣接口 | DN40 | ||
注入油量 | 0.4L | ||
抽氣速率（N2） | 2000L/S | ||
復合真空計
| 復合真空計型號 | ZDF | |
電源 | 220V 55W | ||
控制精度 | ± 1% | ||
真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類(lèi)型） | |
耐壓 | 3MP | ||
流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
最大工作（使用）壓力 | 0.3MPa | ||
線(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | ||
重復精度 | ±0.2% F.S | ||
路數 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | ||
接頭類(lèi)型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | ||
系統工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | ||
工作溫度 | 5-45℃ | ||
壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||
靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | ||
接口 | Dia6 / 1/4” | ||
冷水機
| 電源 | 3PH-380V/50HZ | |
制冷量 | 18.3*103kcal/h | ||
輸入總功率 | 12KW | ||
揚程 | 50M | ||
流量 | 12m3/h | ||
水箱容量 | 130L | ||
外形尺寸 | 730×1335×1415 | ||
凈重 | 285KG | ||
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